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浅述钟罩炉的各组成部分作用

发布时间:2022-07-21   点击次数:787次

  钟罩炉所提供的烧结窑炉的主要特性是高效率,其智能控制系统和其他设备构成了一个完整的功能单元,可充分满足铁氧体行业近乎艺术级的要求。可以根据需要编写和储存任何的温度/气氛曲线,来生产高质量的产品。除此以外还可以根据实际需要及时生产任何其他产品,从而缩短交货期和降低成本。在烧结时仅仅需要少数操作人员,装载和卸载可以在白天完成,而烧结可以在夜间完成,实现电力调峰,在当今电力紧张情况下,十分实用。


  目前设备可用于砷化镓、硅以及其他半导体材料,离子注入后的退火、硅化物的形成、欧姆接触制备以及快速氧化、快速氮化等方面。钟罩炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成的,下面咱们来了解下各组成部分的作用:


  1.真空腔室:真空腔室是其工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。


  2.加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。


  3.进气系统:真空腔室尾部有进气孔,控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。


  4.真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。


  5.温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。


  6.气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。


  7.水冷系统:主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。

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