钟罩炉所提供的烧结窑炉的主要特性是高效率,其智能控制系统和其他设备构成了一个完整的功能单元,可充分满足铁氧体行业近乎艺术级的要求。可以根据需要编写和储存任何的温度/气氛曲线,来生产高质量的产品。除此以外还可以根据实际需要及时生产任何其他产品,从而缩短交货期和降低成本。在烧结时仅仅需要少数操作人员,装载和卸载可以在白天完成,而烧结可以在夜间完成,实现电力调峰,在当今电力紧张情况下,十分实用。
目前设备可用于砷化镓、硅以及其他半导体材料,离子注入后的退火、硅化物的形成、欧姆接触制备以及快速氧化、快速氮化等方面。钟罩炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成的,下面咱们来了解下各组成部分的作用:
1、真空腔室:真空腔室是其工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。
2、加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。
3、进气系统:真空腔室尾部有进气孔,控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。
4、真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。
5、温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。
6、气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。
7、水冷系统:主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。
使用步骤:
1、检查与准备:
(1)仔细检查各部件是否完好,确保无损坏或松动。
(2)确认电源连接正常,且电源开关处于关闭状态。
2、启动与升温:
(1)合上电源开关,此时电源指示灯应亮起。
(2)根据需要调整温度指示调节仪,设定所需的工作温度。
(3)启动升温程序,注意升温过程应分阶段逐渐进行,避免急剧升温对设备造成损害。
3、监控与调节:
(1)在升温过程中,密切监控温度指示调节仪的显示,确保温度控制在设定范围内。
(2)当温度达到设定值时,将自动断电并维持恒温状态。若温度偏离设定值,应及时调节。
4、关闭与清理:
(1)完成实验或生产后,先切断电源,等待设备冷却至安全温度。
(2)打开炉门,取出样品或产品。
(3)清理设备内部及周围区域,保持整洁。
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