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一文与大家分享钟罩炉的使用前校准方法

发布时间:2021-11-17   点击次数:1780次
  钟罩炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。也可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
  今天小编要与大家分享的是钟罩炉使用前校准方法:
  1、校准点的位置:对于容积大于0.15m3的设备,应布3个校准点。分别位于测温区中心点(控温偶位置点)及中心点前和后各(5~10)cm的相应位置。
  2、校准温度点的选择:校准点一般应选择上限温度点或下限温度点进行,也可根据需要选择常用温度点。对于容积小于0.15m3的井式或管式设备,应布1个校准点。位于测温区中心点(控温偶位置点)。根据工作区域大小和形状,将传感器按规定数量与位置布放在工作区域内。
  3、校准步骤:该设备一般处于空载(空炉)条件下,特殊要求时可以负载校准(半载或满载)。在负载情况下校准时,热电偶测量端应尽可能和工件接近。炉料的材质、形状、大小、布置方式、测量点的位置和要求达到指标等根据实际需要进行校准。校准时使用常用的升温速度升温检测,不可降温检测,具有风机的设备,在校准期间风机应该正常运转。升温后,应密切注视检测热电偶在检测仪表上的显示值。当温度达到设定温度,并稳定30min后,确定电阻炉已达到热稳定状态,开始进行温度参数校准。在30min内,每隔3min测量各检测点温度1次,并记录各点的温度值,共测量10次,计算出炉温均匀度、炉温波动度及炉温准确度。
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